FIB測(cè)試，F(xiàn)IB檢測(cè)，

FIB 是英文 Focused Ion Beam的縮寫,依字面翻譯為聚焦離子束.簡(jiǎn)單的說就是將Ga(鎵)元素離子化成Ga+, 然后利用電場(chǎng)加速.再利用靜電透鏡(electrostatic)聚焦,將高能量(高速)的Ga+打到指定的點(diǎn). 基本原理與SEM類似,僅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)FIB聚焦離子束是針對(duì)樣品進(jìn)行平面、界面進(jìn)行微觀分析。檢測(cè)流程包括：樣品制定、上機(jī)分析、拍照等，最后提供界面相片等數(shù)據(jù)。
主要用途：
1、電路修正, 用于驗(yàn)證原型,改善bug，節(jié)省開支，增快上市時(shí)間。
2、縱面的結(jié)構(gòu)分析可直接于樣品上處理,不需額外樣品準(zhǔn)備。
3、材料分析-TEM樣品制備,用于精確定點(diǎn)試片制作,減低定點(diǎn)試片研磨所需人員經(jīng)驗(yàn)的依賴。
4、電壓對(duì)比、用于判定Metal(Via/Contact)是否floating。
5、Grain(晶粒)形狀大小的判定

SEM測(cè)試，SEM檢測(cè)。

1. 原理 

SEM的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子，次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)，次級(jí)電子由探測(cè)體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。

2. 性能

設(shè)備能夠滿足可以觀察直徑為0～200mm（8〞wafer）的試樣。     

放大倍率：×5～×300,000

設(shè)備能夠滿足可以觀察直徑為0～200mm（8〞wafer）的試樣。     
放大倍率：×5～×300,000

深圳市一通檢測(cè)技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱TTS）是從事工業(yè)與消費(fèi)產(chǎn)品測(cè)試、檢驗(yàn)與驗(yàn)證并具有第三方公正地位的專業(yè)檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)室已取得中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可委員會(huì)實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書（CNAS ）、國(guó)家計(jì)量資質(zhì)認(rèn)定證書（CMA ）和國(guó)際運(yùn)輸安全協(xié)會(huì)認(rèn)證(ISTA )，實(shí)驗(yàn)室依照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO/IEC17025：2005《檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求》管理和運(yùn)行，具備向社會(huì)出具公正性檢測(cè)報(bào)告的資格。

一. 環(huán)境可靠性檢測(cè)：1.其中氣候環(huán)境包含：高低溫試驗(yàn)，交變溫濕熱（溫變1-2℃/min)，快速溫度循環(huán)試驗(yàn)（溫變最快20℃/min），溫度沖擊試驗(yàn)，高溫高濕試驗(yàn)，恒定濕熱試驗(yàn)，鹽霧腐蝕試驗(yàn)(中性鹽霧、醋酸鹽霧、同加速乙酸鹽霧、交變鹽霧），防塵防水檢測(cè)（IP等級(jí)測(cè)試）（防塵試驗(yàn)IP1X-6X、防水試驗(yàn)IPX1-X8），IK等級(jí)測(cè)試、低氣壓試驗(yàn)，高壓蒸煮試驗(yàn)（HAST），人工汗液測(cè)試，氣體腐蝕試驗(yàn)，耐焊接熱，沾錫性，UL94阻燃試驗(yàn)，UV老化試驗(yàn)（熒光紫外燈），太陽(yáng)輻射試驗(yàn)（氙燈老化、鹵素?zé)簦┑鹊龋?/p>

2.其中機(jī)械環(huán)境包含：振動(dòng)試驗(yàn)（隨機(jī)振動(dòng)，正掃頻振動(dòng)，定頻振動(dòng)），模擬汽輸車運(yùn)試驗(yàn)，碰撞試驗(yàn)，機(jī)械沖擊試驗(yàn)（半正弦波、方波、后峰鋸齒波），跌落試驗(yàn)(1m和1.5m),G值跌落，滾筒跌落試驗(yàn)（0.5m和1m)，斜面沖擊試驗(yàn)，堆碼壓力試驗(yàn)，水平擠壓試驗(yàn)，溫濕度+振動(dòng)三綜合試驗(yàn)，高加速壽命試驗(yàn)（HALT），高加速應(yīng)力篩選（HASS、HASA），插拔壽命試驗(yàn)（插拔力、拔出力），鋼球沖擊試驗(yàn)，按鍵壽命試驗(yàn)，點(diǎn)劃壽命試驗(yàn)，軟壓試驗(yàn)、搖擺試驗(yàn)，鉛筆硬度測(cè)試，耐磨擦測(cè)試，附著力測(cè)試，切片分析，F(xiàn)IB測(cè)試，SEM測(cè)試，百格測(cè)試等；

3.其中電氣性能包含：表面電阻，接觸電阻，絕緣電阻，耐電壓，溫升試驗(yàn)，摩擦電壓、靜電消散時(shí)間等等；