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        普羅帝測(cè)控中國(guó)有限公司

        檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄

        普洛帝表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器P-III

        • 這真不是您需要的產(chǎn)品?
        • 品  牌:
        • 普洛帝
        • 主要規(guī)格:
        • 400*400*400mm
        • 用  途:
        • 表面污染的量化監(jiān)測(cè)和控制
          • 產(chǎn)品介紹 P-III的表面粒子檢測(cè)器系列通過(guò)以下技術(shù)實(shí)現(xiàn)電子半導(dǎo)體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測(cè)和控制: 核心技術(shù)原理 界面顆粒再懸浮技術(shù)?:采用先進(jìn)界面技術(shù),通過(guò)物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵 表面的顆粒重新懸浮,便于后續(xù)檢測(cè)。 高精度光學(xué)檢測(cè):基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理,實(shí)時(shí)捕獲懸浮粒子的散 射光信號(hào),實(shí)現(xiàn)單個(gè)粒子尺寸的精確分析。 關(guān)鍵性能指標(biāo) 分辨率達(dá)0.1微米,支持納米級(jí)顆粒檢測(cè); 配備靜態(tài)采樣模式,提升測(cè)量精度和穩(wěn)定性;符合ISO-14644-9表面粒子控制標(biāo)準(zhǔn), 滿足半導(dǎo)體制造中對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求 行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢(shì) 減少50%以上的自?xún)魰r(shí)間及顆粒數(shù),縮短PM周期,提升制造效率; 通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)表面污染,降低因顆粒導(dǎo)致的良率損失和可靠性風(fēng)險(xiǎn); 適用于晶圓、光學(xué)元件、精密電路板等對(duì)潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。 系統(tǒng)集成設(shè)計(jì) 支持USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出和軟件升級(jí),便于與工廠智能管理系統(tǒng)對(duì)接; 采用雙電池?zé)岵灏卧O(shè)計(jì),適應(yīng)連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。 該系列設(shè)備通過(guò)量化表面污染數(shù)據(jù),為半導(dǎo)體制造中的過(guò)程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù),從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。 傳感器:第七代雙激光窄光檢測(cè)器,壽命>200000次 產(chǎn)品特點(diǎn) 智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn) 7英寸高分辨率觸控屏:支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)可視化與交互操作,簡(jiǎn)化流程。 雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?:支持連續(xù)生產(chǎn)場(chǎng)景下的不間斷作業(yè),電池更換無(wú)需停機(jī)。 USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級(jí)?:便捷導(dǎo)出檢測(cè)報(bào)告,并可通過(guò)固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。 提升制造效率 減少50%自?xún)魰r(shí)間?:通過(guò)量化表面污染數(shù)據(jù),縮短設(shè)備維護(hù)周期(PM周期),提升產(chǎn)線吞吐量。 延長(zhǎng)MTBC(平均無(wú)故障周期):結(jié)合顆粒控制策略,關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。 覆蓋高潔凈場(chǎng)景 半導(dǎo)體制造:晶圓表面、機(jī)臺(tái)內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證。 精密光學(xué)與電子:液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。 符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范,為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)工具。 產(chǎn)品參數(shù) 測(cè)量粒徑: A 0.3um、2.5um、10um; B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um; C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um; D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um; E 0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um; F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm; 1、粒徑分布誤差:≤±30% 2、濃度示值誤差:≤±30% 3、重復(fù)相對(duì)偏差:≤±10%FS 4、重疊誤差:≤5% 5、氣體檢測(cè):可測(cè)氣體濃度(可選配) 6、溫度范圍:-40 ~ 120℃ 7、檢定標(biāo)準(zhǔn):ISO14644-1或 JJF1190 8、氣泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可選); 9、采樣時(shí)間:3、6、9、12、15、30、60秒(可選); 10、檢測(cè)模式:數(shù)量模式;質(zhì)量模式; 凈效模式; 11、檢測(cè)方式:定時(shí)檢測(cè)、循環(huán)檢測(cè)可設(shè)置 12、報(bào)警方式:自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值 13、限值報(bào)警:RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器 14、法 規(guī) 性:權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等 15、合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,JIS B9921 16、通訊接口:RS232、R485、LAN-USB 17、存儲(chǔ)模式:實(shí)時(shí)、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置;無(wú)限制 18、打印模式:可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù) 19、工作條件:5 ~ 45℃、≤90%RH,無(wú)冷凝 20、多種探針可供選擇

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