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        上海滬東鍋爐廠有限公司
        
        
		
        

	
        
		
         
  		    		
    		
  			
        

        


        
  


        


        

        


 


        
    
        
        
        檢測認證人脈交流通訊錄
    
        

        




        
	
        
	
        
	
        圓探針式臺階儀
        

	
        
		
        
	
        

	
        
	
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          • 　　一、自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀的功能

　　通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及光學變焦相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可支持2D或3D測量。 圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

　　設備特點

　　臺階高度：幾納米至1000μm　　微力恒力控制：0.03至50mg

　　樣品全直徑掃描，無需圖像拼接　　視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

　　圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

　　軟件：簡單易用的軟件界面　　生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

　　主要應用

　　臺階高度：2D和3D臺階高度　　紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

　　形狀：2D和3D翹曲和形狀　　應力：2D和3D薄膜應力

　　缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

　　工業應用

　　半導體和化合物半導體　　LED：發光二極管

　　太陽能　　MEMS：微機電系統

　　數據存儲　　汽車

　　圓探針式臺階儀產品來源：

　　https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html

　　http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html

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