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        或者

        深圳維爾克斯光電有限公司

        檢測認證人脈交流通訊錄

        提供:Marzhauser 電動顯微鏡載物臺SCAN系列 ECO系列

        • 這真不是您需要的產品?
        • 品  牌:
        • 德國Marzhauser Wetzlar
        • 主要規格:
        • 100-300mm
        • 用  途:
        • 專為直立和倒置顯微鏡而設計的載物臺。
          • 深圳維爾克斯光電提供:Marzhauser 電動顯微鏡載物SCAN系列 ECO系列

            關鍵詞電動顯微鏡載物臺 電動載物臺 奧林巴斯顯微鏡臺,  Scan serie  Marzhauser顯微鏡載物臺 

            Marzhauser電動顯微鏡產品

            德國MARZHAUSER公司已經有60年以上的歷史,是顯微鏡電動載物臺領域和手動載物臺領域的先進OEM制造商,產品涉及電動/手動載物臺、軸控制器、載物臺嵌入器、顯微操作器、電子控制器,其中微鏡電動臺可移動運行范圍75x 30mm至 600 x 600mm。之間,多種型號可選可配對目前主流的正置顯微鏡和倒置顯微鏡品牌。是電動顯微鏡,手動顯微鏡進行切片掃描,圖像拼接等必備的超精密平臺。

            Marzhauser特點:

            1.自動匹配顯微鏡型號,“即插即用,自動識別參數化”。產品經過認證:DIN EN ISO 9001:9001,尺寸測量根據 VDI / DGQ 3441。包裝類型:聚氨酯泡沫。

            2.五年的超長質量保證:由于使用制造高精密齒輪及軸承。電動顯微鏡載物臺的潤滑系統能長期使用不需要維護,是全球領先的潤滑技術。

            3.可移動運行范圍75x 30mm至 600 x 600mm。電動顯微鏡載物臺插入配件可更換設計,具有多種stage inserts 選配,滿足客戶需求。

            4.Marzhauser的馬達驅動載物臺,高精度軸承、最小化產品容忍度和專門的永久潤滑系統確,有著高分辨和平滑工作的特點。

            5.控制器:電機/編碼器電纜前右部連接,符合操作人員習慣。由于Marzhauser的控制器專門為載物臺設計,因此能確保掃描載物臺都能精確、平滑和敏感的移動。

             

            Basic系列EK 14 mot:

             

            編號

            00-27-322-0000

            移動速度

            最大120mm/s

            可移動范圍

            76×52mm

            驅動電機

            兩相步進電機

            重復定位精度

            〈5um

            驅動

            齒條齒輪,具有德國專利粗調技術

            精度

            ±20um

            重量

            2.5kg

            正交性

            〈10arcsec

            材質

            全高級鋁,表層鍍有防氧化涂層,黑漆

             

            適用顯微鏡型號:

            Leica DM1000

            Leica DMR...

            Nikon Eclipse LV150, LV150A

            Zeiss Axio Scope.A1

            Leica DM2000

            Leica DMRB

            Nikon L300, L300D

            Zeiss Axiolab /Axiolab 2

            Leica DM2500

            Leica Orthoplan

            Nikon Optiphot / Optiphot 2

            Zeiss Axiophot 1

            Leica DM2500 M

            Leica Polyvar

            Nikon Optiphot 150

            Zeiss Axioplan

            Leica DM2500 P

            Leica Polyvar 2

            Nikon Optiphot 200 / 200D

            Zeiss Axioplan 2

            Leica DM3000

            Nikon Diaphot 200 / 300

            Nikon Optiphot 66

            Zeiss Axioskop

            Leica DM4000 B

            Nikon E1000

            Olympus BH2 / BHT / BHS

            Zeiss Axioskop 2 MAT

            Leica DM4000 M

            Nikon E800

            Olympus BX40

            Zeiss Axioskop 2 MOT

            Leica DM4500 P

            Nikon Eclipse 50i

            Olympus BX41

            Zeiss Axioskop 20

            Leica DM5000 B

            Nikon Eclipse 55i

            Olympus BX41M

            Zeiss Axioskop 40

            Leica DM5500 B

            Nikon Eclipse 80i

            Olympus BX50

            Zeiss Axiotech 100

            Leica DM6000 B

            Nikon Eclipse 90i

            Olympus BX51

            Zeiss Axiotech vario

            Leica DM6000 M

            Nikon Eclipse E200

            Olympus BX51M

            Nikon Eclipse L200, L200A, L200D

            Leica DMLA

            Nikon Eclipse E400

            Olympus BX60

             

            Leica DMLB

            Nikon Eclipse E600

            Olympus BX61

             

            Leica DMLFSA

            Nikon Eclipse L150

            Olympus BX61 M

            Leica DMLS

            Leica DMLM

            Nikon Eclipse LV100D/LV100DA

            Zeiss Axio Imager

             

             

            SCAN(plus)系列:(用可移動范圍區分型號)

            材質都是全高級鋁,表面都鍍有防氧化膜層,黑漆,防腐銹。

            型號75×50mm和100×100mm

             

            Scan(plus)75×50 mm

            Scan(plus)100×100 mm

            分辨率

            0.05 um

            0.05 um

            可移動范圍

            75×50 mm

            75×50 mm

            重復定位精度

            〈1 um

            〈0.2 um

            精度

            ±1 u㎡

            ±1 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            2 mm

            2 mm/4 mm

            移動速度

            最大50 mm/s

            2mm-120mm/s

            4mm-240mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            2.6kg

            4.6kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10arcsec

             

            可選顯微鏡型號:

            Scan(plus)75×50 mm

            Scan(plus)100×100 mm

            Leica DM1000

            Olympus BX40

            Nikon Eclipse E400

            Olympus SZX10

            Leica DM2000

            Olympus BX41

            Nikon Eclipse L150

            Olympus SZX12

            Leica DM2500

            Olympus BX41M

            Nikon Eclipse LV150, LV150A

            Olympus SZX16

            Leica DM2500 M

            Olympus BX50

            Nikon ME600

            Olympus SZX7

            Leica DM3000

            Olympus BX51

            Nikon Optiphot / Optiphot 2

            Olympus SZX9

            Nikon Eclipse E400

            Olympus BX51M

            Olympus BH2 / BHT / BHS

            Zeiss Axio Scope.A1

            Nikon SMZ1000

            Olympus SZX10

            Olympus BX40

            Zeiss Axiolab /Axiolab 2

            Nikon SMZ1500

            Olympus SZX12

            Olympus BX41

            Zeiss Axiophot 1

            Nikon SMZ800

            Olympus SZX16

            Olympus BX50

            Zeiss Axioplan 2

            Olympus SZX9

            Olympus SZX7

            Olympus BX51

            Zeiss Axioskop

             

             

            Olympus BX60

            Zeiss Axioskop 20

             

             

            Olympus BX61

            Zeiss Axioskop 40

             

             

            Zeiss Axiotron 2

            Zeiss Axiotech 100

             

             

            Zeiss Stemi 2000 / 2000C

            Zeiss Axiotech vario

             

            型號120×80mm和130×85mm

             

            Scan(plus)120×80 mm

            Scan(plus)130×85 mm

            分辨率

            0.05 um

            0.05 um

            可移動范圍

            120×80 mm

            130×85 mm

            重復定位精度

            〈1 um

            〈0.2 um

            精度

            ±1 u㎡

            ±1 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm / 2 mm

            2 mm / 4 mm

            移動速度

            1 mm-60 mm/s , 2 mm-120mm/s

            2mm-120mm/s , 4mm-240mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            4.7kg

            4.5kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10 arcsec

            可選顯微鏡型號:

            Scan(plus)120×80 mm:Olympus IX51 ,Olympus IX71 ,Olympus IX81 ,Olympus IX53, Olympus IX73,Olympus IX83

            Scan(plus)130×85 mm:

            Olympus BX41

            Leica DM4000 B

            Nikon Eclipse 50i POL

            Olympus BX41M

            Leica DM4000 M

            Nikon Eclipse 55i

            Olympus BX51

            Leica DM4500 P

            Nikon Eclipse 80i

            Olympus BX51M

            Leica DM5000 B

            Nikon Eclipse 90i

            Olympus BX51WI

            Leica DM5500 B

            Nikon Eclipse LV150, LV150A

            Olympus BX61

            Leica DM6000 B

            Zeiss Axio Imager

            Olympus BX61 M

            Leica DM6000 M

            Zeiss Axioplan 2

            Olympus BX61WI

            Nikon Eclipse 50i

            為徠卡 DMI3000-DMI6000

             

             

            Nikon Eclipse TI

             

            型號150×150mm和200×200mm

             

            Scan(plus)150×150 mm

            Scan(plus)200×200 mm

            分辨率

            0.05 um

            0.05 um

            可移動范圍

            150×150 mm

            200×200 mm

            重復定位精度

            〈0.2 um

            〈1 um

            精度

            ±1 u㎡

            ±1 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            4 mm

            4 mm

            移動速度

            240 mm/s

            240mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            6.2 kg

            8.9 kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10 arcsec

            可選顯微鏡型號:

            Scan(plus)150×150 mm

            Scan(plus)200×200 mm

            Leica DM8000 - DM12000

            Nikon Eclipse L200, L200A, L200D

            Nikon Eclipse LV150, LV150A

            Nikon Optiphot 200 / 200D

            Olympus MX51

            Olympus MX50

            Zeiss Axiophot

            Olympus MX50L

            Zeiss Axioskop 20

            Olympus MX51

            Zeiss Axiotron S

            Olympus MX51L

            Zeiss Axiotron WIS

            Olympus MX61

             

            Olympus MX61L

             

            Olympus MX80

             

            型號300×300mm

             

            Scan(plus)300×300mm

            可選顯微鏡型號

            分辨率

            0.05 um

            Olympus MX50L

            可移動范圍

            300×300mm

            Olympus MX51L

            重復定位精度

            〈1  um

            Olympus MX61L

            精度

            ±1 u㎡

            Olympus MX80

            滾珠絲桿螺距

            4 mm

             

            移動速度

            240 mm/s

             

            驅動電機

            兩相步進電機

             

            重量

            19.5 kg

             

            正交性

            〈10 arcsec

             

            限位開關

            光學光束

             

             

            ECO75×50生態系列

            EK 75 x 50 Pilot (同軸驅動)

            生態系列顯微鏡配備綜合測量系統,掃描精度高的同時價格低廉,行程范圍是 75 x 50 毫米。亮點是使用了CERASIST® 表面涂層,使的載物臺表面幾乎零磨損。

             

            EK 75 x 50 Pilot (同軸驅動)

            分辨率

            0.05 um

            可移動范圍

            75 x 50 mm

            重復定位精度

            〈1  um

            精度

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            2 mm

            移動速度

            120 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            重量

            2.9 kg

            正交性

            〈10 arcsec

            限位開關

            集成霍爾傳感器

            接口

            USB

            驅動軸

            X: bowde線 Y:齒條-齒輪

            適合顯微鏡型號:

            Leica DM1000

            Nikon Eclipse E600

            Nikon Eclipse 50i

            Leica DM2000

            Nikon ME600

            Nikon Eclipse 55i

            Leica DM2500

            Olympus BX40

            Nikon Eclipse 80i

            Leica DM3000

            Olympus BX41

            Nikon Eclipse E400

            Leica DM4000 B

            Olympus BX50

            Zeiss Axioskop 20

            Leica DM5000 B

            Olympus BX51

            Zeiss Axioskop 40

            Leica DM5500 B

            Olympus BX60

            Zeiss Axiotech 100

            Leica DM6000 B

            Olympus BX61

            Zeiss Axiotech vario

            Leica DMLA

            Zeiss Axioskop

            Zeiss Axio Scope.A1

            Leica DMLB

             

             

            Scan系列,分正置和倒置

            1.Marzhauser電動顯微鏡幾乎適合目前所有的正置/倒置顯微鏡型號,應用于需要自動和非常精準定位的方案,使用范圍從 75 x 50 毫米到 600 x 600 毫米。優秀,長期潤滑的設計,可使你安心運行非常長的時間。

            2."即插即用",自動識別和參數化。綜合所有當前顯微鏡的參數型號。

             

            正置顯微鏡載物臺

             

             

             

             

            型號SCAN75 x 30和SCAN75 x 50

             

            Scan 75×30mm

            Scan 75×50 mm

            分辨率

            0.01 um

            0.01 um

            可移動范圍

            75×38 mm

            75×52 mm

            重復定位精度

            〈 1 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm / 2 mm

            1 mm / 2 mm

            移動速度

            1 mm-25 mm/s

            2 mm-50mm/s

            1 mm-25 mm/s

            2 mm-50mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            2.6kg

            2.6kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10arcsec

            Limit switches

            Optical light beams

            Optical light beams

            SCAN 75 30

            SCAN 75 30

            Meiji MT4000 Serie

            Leica DM1000

            Olympus BX41

            Meiji MT5000 Serie

            Leica DM2000

            Olympus BX41M

            Meiji MT6000 Serie

            Leica DM2500

            Olympus BX50

            Meiji MT8500 Serie

            Leica DM2500 M

            Olympus BX51

            Meiji RZ Serie

            Leica DM3000

            Olympus BX51M

            Motic BA 400

            Nikon Eclipse E400

            Olympus SZX10

             

            Nikon SMZ1000

            Olympus SZX12

             

            Nikon SMZ1500

            Olympus SZX16

             

            Nikon SMZ800

            Olympus SZX7

             

            Olympus BX40

            Olympus SZX9

             

            適合顯微鏡型號:

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

            型號SCAN100 x 100和SCAN130 x 85

             

            Scan 100×100mm

            Scan 130×85 mm

            分辨率

            0.01 um

            0.01 um

            可移動范圍

            100×100mm

            130×85 mm

            重復定位精度

            〈 0.2 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm / 2 mm / 4 mm

            2 mm / 4 mm

            移動速度

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            4.4kg

            4.4kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10arcsec

            Limit switches

            continuously adjustable light barriers

            continuously adjustable light barriers

             

            適合顯微鏡型號:

             

            SCAN 100 100

            scan130 85

            Leica DM1000

            Olympus BX50

            Leica DM4000 B

            Leica DM2000

            Olympus BX51

            Leica DM4000 M

            Leica DM3000

            Olympus BX60

            Leica DM4500 P

            Leica DM4000 B

            Olympus BX61

            Leica DM5000 B

            Leica DM4000 M

            Olympus SZX10

            Leica DM5500 B

            Leica DM4500 P

            Olympus SZX12

            Leica DM6000 B

            Leica DM5000 B

            Olympus SZX16

            Leica DM6000 M

            Leica DM5500 B

            Olympus SZX7

            Zeiss Axio Imager

            Leica DM6000 B

            Olympus SZX9

            Nikon Eclipse 50i

            Leica DM6000 M

            Zeiss Axio Scope.A1

            Nikon Eclipse 50i POL

            Nikon Eclipse 80i

            Zeiss Axiolab /Axiolab 2

            Nikon Eclipse 55i

            Nikon Eclipse E400

            Zeiss Axiophot 1

            Nikon Eclipse 80i

            Nikon Eclipse E600

            Zeiss Axioplan 2

            Nikon Eclipse 90i

            Nikon Eclipse L150

            Zeiss Axioskop

            Olympus BX41

            Nikon Eclipse LV150, LV150A

            Zeiss Axioskop 20

            Olympus BX41M

            Nikon ME600

            Zeiss Axioskop 40

            Olympus BX51

            Nikon Optiphot / Optiphot 2

            Zeiss Axiotech 100

            Olympus BX51M

            Olympus BH2 / BHT / BHS

            Zeiss Axiotech vario

            Olympus BX61

            Olympus BX40

            Zeiss Axiotron 2

            Olympus BX61 M

            Olympus BX41

            Zeiss Stemi 2000 / 2000C

            Olympus BX61WI

             

            型號SCAN150 x 150和SCAN200 x 200

             

            Scan 150 x 150mm

            Scan 200×200 mm

            分辨率

            0.01 um

            0.01 um

            可移動范圍

            150×150mm

            200×200 mm

            重復定位精度

            ≤ 0.2 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

             2 mm / 4 mm

            1 mm/ 2 mm / 4 mm

            移動速度

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            6.2kg

            8.9kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10arcsec

            Limit switches

            continuously adjustable light barriers

            hall sensors

             

            適合顯微鏡型號:

            Scan 150 150

            SCAN200 200

            Leica DM8000 - DM12000

            Nikon Eclipse L200, L200A, L200D

            Nikon Eclipse LV150, LV150A

            Nikon Optiphot 200 / 200D

            Olympus MX51

            Olympus MX50

            Zeiss Axiophot

            Olympus MX50L

            Zeiss Axioskop 20

            Olympus MX51

            Zeiss Axiotron S

            Olympus MX51L

            Zeiss Axiotron WIS

            Olympus MX61

             

            Olympus MX61L

             

            Olympus MX80

             

            型號SCAN200 x 76和SCAN300 x 300

             

            Scan 200x76mm

            Scan 300×300 mm

            分辨率

            0.01 um

            0.1 um

            可移動范圍

            200×76mm

            300×300 mm

            重復定位精度

            〈 1 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±5 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm/ 2 mm / 4 mm

             2 mm / 4 mm

            移動速度

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            2 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            4.4kg

            19.5kg

            正交性

            〈10 arcsec

            < 40 sec., typically < 15 - 20 sec.

            Limit switches

            adjustable limit switches

            hall sensors

             

            適合顯微鏡型號:

             

            SCAN200 76

            SCAN 300 300

            Leica DM4000 B

            Olympus BX41M

            Olympus MX50L

            Leica DM4000 M

            Olympus BX50

            Olympus MX51L

            Leica DM5000 B

            Olympus BX51

            Olympus MX61L

            Leica DM5500 B

            Olympus BX51M

            Olympus MX80

            Leica DM6000 B

            Olympus BX60

             

            Leica DM6000 M

            Olympus BX61

             

            Olympus BX40

            Olympus BX61 M

             

            Olympus BX41

             

             

             

            型號SCAN 8 for Slides

             

            Scan 200x76mm

            分辨率

            0.01 um

            可移動范圍

            200×76mm

            重復定位精度

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

             2 mm / 4 mm

            移動速度

            2 mm-120 mm/s

            4 mm-240 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            重量

            5.0 kg

            正交性

            〈10 arcsec

            Limit switches

            contactless light beams

             

            適合顯微鏡型號:

             

            SCAN 8 for Slides

            Leica DM4000 B

            Nikon Eclipse 50i

            Olympus BX60

            Leica DM5000 B

            Nikon Eclipse 55i

            Olympus BX61

            Leica DM5500 B

            Nikon Eclipse 80i

            Olympus BX61 M

            Leica DM6000 B

            Nikon Eclipse 90i

            Zeiss Axio Imager

            Leica DMLA

            Nikon Eclipse E400

            Zeiss Axioplan

            Leica DMLB

            Nikon Eclipse E600

            Zeiss Axioplan 2

            Leica DMLM

            Olympus BX40

            Zeiss Axioskop

            Leica DMLS

            Olympus BX41

            Zeiss Axioskop 2 MOT

            Leica DMR...

            Olympus BX41M

            Zeiss Axioskop 20

            Leica DMRB

            Olympus BX50

            Zeiss Axioskop 40

            Nikon E1000

            Olympus BX51

            Zeiss Axio Scope.A1

            Nikon E800

            Olympus BX51M

             

             

            倒置顯微鏡載物

             

            型號SCAN IM 50 x 50和型號SCAN IM 80 x 55

             

            Scan IM 50x50 mm

            Scan IM 80x55 mm

            分辨率

            0.01 um

            0.01 um

            可移動范圍

            50×50mm

            300×300 mm

            重復定位精度

            〈 1 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm/ 2 mm

             1 mm / 2 mm

            移動速度

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            4.6 kg

            4.3 kg

            正交性

            〈10 arcsec

            〈10 arcsec

            Limit switches

            mechanical limit switches

            mechanical limit switches

             

              適合Scan IM 50x50 mm倒置顯微鏡型號有:Olympus GX51,Olympus GX71,Nikon Eclipse MA200

              適合Scan IM 80x55 mm倒置顯微鏡型號有:Olympus BX45

             

             

            型號SCAN IM 100 x 40和型號SCAN IM 112 x 74

             

            Scan IM 100x40 mm

            Scan IM 112x74 mm

            分辨率

            0.05 um

            0.05 um

            可移動范圍

            100×40mm

            112×74 mm

            重復定位精度

            〈 1 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm/ 2 mm

             1 mm

            移動速度

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            1 mm-60 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            4.3 kg

            4.3 kg

            正交性

            < 40 sec., typically < 15 - 20 sec.

            < 40 sec., typically < 15 - 20 sec.

            Limit switches

            mechanical limit switches

            mechanical limit switches

             

            適合 Scan IM100x40 mm倒置顯微鏡型號有:Leica DMI3000 M,Leica DMI5000 M

            適合 Scan IM112 x 74 mm倒置顯微鏡型號有:Olympus GX51,Olympus GX71

             

             

            型號SCAN IM 120 x 80型號SCAN IM 120 x 88

             

            Scan IM120x80 mm

            Scan IM120x88 mm

            分辨率

            0.01 um

            0.05 um

            可移動范圍

            120×80mm

            120×88 mm

            重復定位精度

            〈 1 um

            〈 1 um

            精度

            ±3 u㎡

            ±3 u㎡

            滾珠絲桿螺距

            1 mm/ 2 mm

             1 mm

            移動速度

            1 mm-60 mm/s

            2 mm-120 mm/s

            1 mm-60 mm/s

            驅動電機

            兩相步進電機

            兩相步進電機

            重量

            4.7 kg

            4.3 kg

            正交性

            < 10 arc sec

            < 40 sec., typically < 15 - 20 sec.

            Limit switches

            mechanical limit switches

            mechanical limit switches

             

            適合 Scan IM120 x 80 mm倒置顯微鏡型號有:Olympus IX51,Olympus IX71,Olympus IX81,Olympus IX53,Olympus IX73,Olympus IX83,Nikon Eclipse MA100

            適合 Scan IM120 x 88mm倒置顯微鏡型號有:Olympus BX51WI,Olympus BX61WI

             

             

            型號SCAN IM 120 x 100型號SCAN IM 127 x 83

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                        Scan IM120x100 mm

                        Scan IM127x83 mm

                        分辨率

                        0.01 um

                        0.05 um

                        可移動范圍

                        120×100mm

                        127×83 mm

                        重復定位精度

                        〈 1 um

                        〈 1 um

                        精度

                        ±3 u㎡

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