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Veeco 探針輪廓儀（臺階儀）DEKTAK XT

DektakXT Specifications規格測量技術探針輪廓技術測量功能二維表面輪廓測量可選三維測量/ 樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV 探針傳感器低慣量傳感器 (LIS 3) 探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至 15mg 低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg 探針選項探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm 高徑比 (HAR)針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm; 可按客戶要求定制針尖樣品X/Y載物臺手動 X-Y 平移：100mm (4 英寸) 機動X-Y 平移：150mm (6 英寸) 樣品旋轉臺手動，360°旋轉; 機動：360°旋轉; 計算機系統 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器軟件 Vision64操作及分析軟件；應力測量軟件；懸臂偏轉；縫合軟件；三維掃描成像軟件減震裝置減震裝置可用掃描長度范圍 55mm (2英寸) 每次掃描數據點最多可達120,000數據點最大樣品厚度 50mm (2英寸) 最大晶圓尺寸 200mm (8英寸) 臺階高度重現性 <5Å, 1σ在1μm臺階上垂直范圍 1mm (0.039英寸) 垂直分辨率最大1Å ( 6.55μm垂直范圍下) 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz 溫度范圍運行范圍20 到 25°C (68到77°F) 濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝系統尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅); 附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)

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