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        杭州精科儀器有限公司
        
        
		
        

	
        
		
         
  		    		
    		
  			
        

        


        
  


        


        

        


 


        
    
        
        
        檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
    
        

        




        
	
        
	
        
	
        FB7008D型多功能等離子體實驗儀（濺射鍍膜等離子裝置）
        

	
        
		
        
	
        

	
        
	
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          • 本裝置由本公司與浙江大學(xué)共同研制。

鍍膜原理為真空濺射離子、電子飛速運動，放電離子飛速轟擊機(jī)臺靶面，濺擊大量（銀、銅等）介質(zhì)，原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。

實驗內(nèi)容：

●不同金屬材料薄膜制備；

●利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結(jié)構(gòu)；

●在光學(xué)材料上薄膜的制備及特性的測量的影響；

●研究離子轟擊對膜性質(zhì)的影響。

技術(shù)參數(shù)：

●真空系統(tǒng)：旋片式真空泵，單相220V；

●工作氣壓：10~200Pa；

●工作電壓：0~1500V可調(diào)，工作電流0~200mA可測量；

●基臺加熱控溫系統(tǒng)室溫200度；

●濺射鍍膜鐘罩直徑140mm，高度150mm；

●基臺可升降，可調(diào)范圍：10~50mm；

●儀器配有鍍膜片，另配顯微鏡、清洗機(jī)。
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