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        杭州精科儀器有限公司
        
        
		
        

	
        
		
         
  		    		
    		
  			
        

        


        
  


        


        

        


 


        
    
        
        
        檢測認證人脈交流通訊錄
    
        

        




        
	
        
	
        
	
        FB7008型輔助增強化學氣相沉積系統
        

	
        
		
        
	
        

	
        
	
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          • 本實驗裝置主要由真空系統、微波激勵系統、供氣系統、基片溫控加熱系統以及循環水冷卻系統等組成。微波源產生2.45GHz的微波，沿著波導管傳輸，經環行器、四釘阻抗調配器等裝置，到達諧振腔反應室，氣體在微波的激勵下，獲得很大的能量，在反應室的工作平臺處，形成球狀的等離子體。本裝置適合高校近代物理、材料物理等專業作為等離子體研究與技術應用方面實驗。

    實驗內容：

●HFPCVD法在基片上制備各種功能薄膜材料；

●MWPCVD法多壁碳納米管陣列的化學氣相沉積制備；

●浮動催化裂解法制備單壁碳納米管；

●PECVD制備一維納米結構；

●MWP化學合成。

技術參數：

●微波源功率： 0~900W，連續可調；

●真空系統：機械式真空泵，交流市電 220V，抽速：2L/s極限氣壓：≤0.6Pa；

●供氣系統：四路獨立供氣管路，一路載氣，流量分別由轉子流量計控制；

●封閉式內循環水冷溫度調節系統，連續工作系統溫度≤30℃ ；

●微波傳輸及微波諧振腔：配有環行器、水負載、四釘阻抗調配器，短路活塞，保證微波源安全工作。微波反射檢波測量系統，保證等離子體充分吸收微波的能量；

●反應室工作氣壓：幾帕~十千帕。反應室由石英玻璃制作：直徑φ44mm；

●基片溫度范圍：200~1050℃，用熱電偶測溫，采用PID控溫。

●實驗結束，將硅襯底，通過掃描電子顯微鏡（SEM）（用戶自備）觀察襯底表面可以發現網格狀的BN納米棒。
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