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        磁懸浮渦輪分子泵ATH-M 系列

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          • 阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵 五大防腐特性 自動平衡系統 嵌入式75加熱系統 5軸控制 惰性氣體吹掃 逆向動力密封(適用于ATH400與ATH1300型) 高流量應用 ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導體工業以及其他薄鍍膜工藝而設計。 緊湊而現代的設計 可調節轉速以優化抽氣時的參數 高平均無故障時間 使用成本低 低噪音低振動 無需電池 應用 玻璃鍍膜 微處理系統加工 離子束矯正 電子顯微鏡 空間模擬腔 粒子加速器 半導體工藝(刻蝕, CVD, 離子插入) 鍍膜與薄鍍膜工藝 離子銑 以及許多研發實驗
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          孫春梅

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