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        或者
        
  				        
        
        
  
    
        
	
        

        
	
	
        
		
        
			
        
			
        伯東企業上海有限公司真空產品事業部
        
        
		
        

	
        
		
         
  		    		
    		
  			
        

        


        
  


        


        

        


 


        
    
        
        
        檢測認證人脈交流通訊錄
    
        

        




        
	
        
	
        
	
        德國普發Pfeiffer渦輪分子泵Hipace 1000-2000 l/s
        

	
        
		
        
	
        

	
        
	
        • 這真不是您需要的產品？
        • 品　　牌：
        
	
	
        • 主要規格：
        • 德國普發Pfeiffer渦輪分子泵Hipace 1000-2000 l/s
        
	
        • 用　　途：
        • 1. 半導體生產 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5. 玻璃及刀具鍍膜
        
	
          


          

          

          
            
                
            
                    
            
                    
          • 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 產品優點： 

1. 四種抽速，抽速為自1,000 至 2,000 l/s 

2. 對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速 

3. 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 要求，耐粉塵 

4. 高氣流量，即使對于分子量較大的氣體 

5. 集成的 TC 1200 驅動單元，可直接連接一般電源 

6. 支援腐蝕氣體

7. 帶節氣閥門的集成密封氣體系統 

8. 標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供選擇 

9. 符合 IP 54 防護標準，適用于工業應用環境 

10. 符合 Semi S2 規范

11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 認證

 

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 適用領域：

1. 半導體生產 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5. 玻璃及刀具鍍膜

 

產品規格：

型號
 連接尺寸 DN
 抽速 l/s
 壓縮比
 最高啟動壓強mbar
 冷卻方式
 啟動時間
 重量
 
進氣口
 出氣口
 氮氣N2
 氦氣He
 氫氣 H2
 氮氣 N2
 氮氣N2
  
 min
 kg
 
HiPaceTM 1200
 200
 40
 1,250
 1,300
 1,100
 >108
 2
 水冷
 2.5
 40
 
HiPaceTM 1500
 250
 40
 1,450
 1,350
 1,150
 >108
 2
 水冷
 2.5
 41
 
HiPaceTM 1800
 200
 40
 1,450
 1,650
 1,700
 >108
 1.8
 水冷
 4
 34
 
HiPaceTM 2300
 250
 40
 1,900
 2,050
 1,850
 >108
 1.8
 水冷
 4
 37
 


            • 
                
          
            
          


          

          

      



          


          

           
 
           
 
	
    
          
	    
            
            
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