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        K550離子濺射鍍膜儀

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        • 主要規格:
        • 用  途:
          • 1.儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 2.工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.安全鐘罩:聚碳酸酯 4.重量:18公斤 5.靶:60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標準靶面) 6.樣品臺直徑為60 mm,靶面距離40mm,具有傾斜裝置的旋轉臺 7.真空范圍:ATM-1x10-4 mbar 8.沉積電流范圍:0-50mA 9.沉積速率:0-25nm/分 10.濺射時間:0-4 分鐘 11.預設置針閥:控制氬 12.電源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)

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