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        深圳市美信檢測技術(shù)有限公司
        
	
        

	
	
        
		
         
  		    		
    		
  				
        
	
        
	

        



        

 
        


        


 

        
	
        
		
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        • 俄歇電子能譜 (AES, Auger)
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				                    對應(yīng)法規(guī)：GB，ISO，ASTM
          
                    CNAS認(rèn)可項(xiàng)目：是
                                	
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        • 俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發(fā)源的表面分析技術(shù). AES分析區(qū)域受激原子發(fā)射出具有元素特征的俄歇電子。
    AES電子束可以掃描一塊或大或小的表面. 它也可以直接聚焦在小塊表面形貌上（半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)常要求這樣）。聚焦電子束斑到10nm或更小的直徑使得AES成為小表面形貌元素分析的非常有用的工具。此外，它能夠在可調(diào)整的表面區(qū)域內(nèi)柵蔽電子束從而控制分析區(qū)域的尺寸。 當(dāng)用來與濺射離子源的結(jié)合時, AES能勝任大、小面積的深度剖面。 當(dāng)與聚焦離子束(FIB)一起使用時,它對于截面分析是很有用的。

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        深圳市美信檢測技術(shù)有限公司

        曾菲

        
  
        
		
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        • 深圳市寶安區(qū)石巖鎮(zhèn)松白路石巖湖方正科技園A5棟一樓
        
				
  
        


        


        
	
    
        

        



        


        

         

         
 
	
    
        
	    
          
	        
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